干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用與發(fā)展。國(guó)外的干泵市場(chǎng)正處于蒸蒸日上的階段，如日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。
干式螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的一種真空抽氣設(shè)備。由于干式螺桿真空泵工作過程中無油無水，避免了水資源的浪費(fèi)和污染，目前深受廣大客戶的喜愛。今天，我們就來一起了解一下干式螺桿真空泵。
干式螺桿真空泵工作原理是利用齒輪，傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿做高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，但無壓縮，只有螺桿末端的螺旋結(jié)構(gòu)對(duì)氣體有壓縮作用，終形成真空。
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